特氣輸送系統(tǒng):微電子時(shí)代的生命線(xiàn)革命
在晶圓廠(chǎng)潔凈室的金屬叢林深處,無(wú)數(shù)銀色管道編織成精密的血管網(wǎng)絡(luò),這些直徑不足10厘米的金屬管道里,流動(dòng)著現(xiàn)代工業(yè)最昂貴的"血液"——三氟化氮每千克價(jià)值500美元,六氟化鎢更是高達(dá)2000美元。這些特種氣體每立方厘米的純度必須達(dá)到99.9999999%,相當(dāng)于北京奧林匹克森林公園內(nèi)找不出1粒雜質(zhì)。特氣輸送系統(tǒng)如同高...














客服QQ