外觀要求：

1)包含但不限于：箱體、箱門、透明視窗、支架、供氣盤面、控制箱以及其它必需之組件

2)尺寸：結合現(xiàn)場空間合理設計；

3)顏色：現(xiàn)場設備顏色標準一致化；

4)外殼須有抗腐蝕環(huán)氧涂層，并且所有材料都必須是非易燃的；

5)面板應該是厚度大于等于2.0mm的鋼板，并且不能有震動，鋒利的邊緣及可能導致操作人員受傷的其他缺陷；

6)帶有透明視窗，可以自動關閉，自動卡鎖及用鑰匙鎖定。透明視窗的玻璃必須是厚度大于等于 6.5mm，并有金屬絲加固的安全玻璃，須采用圓頭螺帽； 

7)柜體應為封閉式之結構，門、窗、管路線路通道及其他孔洞必須安裝密封圈以防止泄漏，利用Exhaust，持續(xù)性排除柜體內(nèi)之氣體以防氣體外泄時影響人員安全；

8)控制箱位于箱體下方，便于后續(xù)維護，設計高度應滿足人員操作；

工藝流程要求：

1)應該標明其供應氣體的種類及其濃度；

2)盤面轉角處嚴禁直接彎管，須使用成品彎頭，所用fitting全部為Micro形式，減少彈杠的使用，接口尺寸應與其安裝處的管道尺寸大小相同；

3)電磁閥需帶有強制打開指撥按鈕，便于非安全原因設備宕機后開啟氣動閥；

4)排風需帶范圍指針

5)所有閥門必須帶有on/off（開/關）指示，可通過蓋板清楚看到，VDB每個入口配置手閥、PT、單向閥、氣動閥，每個入口單獨配置吹掃和抽真空；

6)VMB主管加裝氣動閥、PT；

7)各個管路的外管監(jiān)控PSG需能接入控制箱體內(nèi)部并接入系統(tǒng)統(tǒng)一監(jiān)控；

8)提供接收關斷主路或支路供氣的偵測器信號的各獨立干接點；

9)制造商須熟悉特氣性質(zhì)并根據(jù)所承載氣體的工藝特性，詳實細化工藝流程，合理配置設備；

10)提供測試的數(shù)據(jù)報告，啟用前廠家調(diào)試人員現(xiàn)場當場調(diào)試。

系統(tǒng)配置要求：

1)PLC、手動閥、氣動閥、軟管與BSGR/GR要求一致

2)壓力傳感器

3)用于主管路壓力監(jiān)測；

4)傳感器須為VCR接頭形式；

5)根據(jù)不同氣體的傳輸壓力，選擇合適的壓力量程，并須予以體現(xiàn)；

6)3.1.4.3壓力表頭

7)每條支路安裝壓力表頭

8)根據(jù)氣體供應壓力選擇壓力表頭的量程；

排風系統(tǒng)

1)VD&VMB應為封閉式之結構，利用Exhaust，持續(xù)性排除柜體內(nèi)之氣體以防氣體外泄時影響人員安全；

2)排風管的直徑必須大于等于4英寸并裝有手動蝶閥以調(diào)節(jié)氣瓶柜內(nèi)適當?shù)某轱L量；排氣管須預留偵測器取樣及排氣接口，且須保證良好的密封性；

3)排風狀態(tài)的持續(xù)監(jiān)控信號要顯示在控制屏上并與PLC聯(lián)動，以提供抽風量不足時的報警；

4)風管使用法蘭連接，中間使用四氟墊片密封，不得使用鋁箔紙粘貼密封；

5)氣柜排風功能設計須符合法規(guī)要求；

控制要求：

1)PLC+按鈕控制模式；

2)主管路及每個供氣支路須設置獨立氣動關斷閥，可達到遠程控制關閉的功能；

3)雙套管真空表壓力開關信號須納入VMB PLC，并通過以太網(wǎng)傳輸至SCADA；

4)控制箱內(nèi)電磁閥需帶有強制打開指撥按鈕；

5)主管路PT具有供應壓力低及高報警功能；

安全要求：

1)盤面所有接頭須為VCR形式連接，且盡量減少接頭數(shù)量；

2)帶有三色塔燈及蜂鳴器，根據(jù)運行狀態(tài)及報警等級顯示不同警示顏色并發(fā)出報警聲；

3)控制箱上必須安裝一個緊急切斷按鈕以實現(xiàn)完全停止供氣的目的；

4)所有設備均須有接地保護；

5)VMB 主管路及分支路都安裝氣動控制閥，且可達到遠程聯(lián)動關閉的功能；閥門開關狀態(tài)須納入監(jiān)控系統(tǒng)；

6)具備氮氣吹掃及抽真空功能，但不做銜接；

7)電控柜內(nèi)須配置惰氣（N2）保護裝置（即Z-PURGE）；

8)盤面轉角處不得直接彎管，須使用成品彎頭，所用fitting全部為Micro形式，減少彈杠的使用；

2.8.8管路材質(zhì)要求：

1.氣動閥氣源管路材質(zhì)：SS316L BA；

2.VENT管路材質(zhì)： SS304 AP；

3.排風管管路材質(zhì)：SS+Coating（AsH3、PH3、CL2、HBr），SS（除AsH3、PH3、CL2、HBr）

溫控系統(tǒng)(如有)

         供應商理應亦須從節(jié)能高效的方式考量，保證氣體供應穩(wěn)定，不得額外消耗電力；

 A.溫控箱（納入監(jiān)控）：

1)溫控箱須配置獨立多組加熱通道,用于主管道或VMB盤面加熱； 

2)溫控箱須用以太網(wǎng)通訊模式，且須將現(xiàn)場溫度值信號納入GMS系統(tǒng)實時監(jiān)控，信號轉換模塊由供應商自行配置；

3)加熱控制箱具有過溫保護功能，并能提供遠程報警訊號；

  B.加熱線：

1)須為整根加熱包覆，中間不得有接頭；

2)不同管道采用不同加熱帶敷設，禁止多根氣體管道使用同一根加熱帶

3)加熱帶采用緊貼管道平行敷設；

4)加熱帶末端需采用絕緣封頭帽、絕緣膠帶纏繞保護處理；