Gas Rack采用可程序化邏輯控制(PLC) 撘配Touch Monitor操作，能自動(dòng)切換吹掃及保壓測(cè)試（自動(dòng)顯示錯(cuò)誤警報(bào)及步進(jìn)功能），手動(dòng)控制及強(qiáng)制供氣，并能與氣體監(jiān)控系統(tǒng)(Gas Monitoring System)兼容，藉由氣體監(jiān)控系統(tǒng)遠(yuǎn)距離關(guān)閉(Remote Shutdown)方式控制Gas Rack緊急停止供氣。

Gas Rack采雙瓶式配置，兩瓶皆為制程氣體鋼瓶，一瓶供應(yīng)，一瓶備用，Purge所需N2可考慮各氣體間共用鋼瓶供應(yīng)（在考慮氣體倒流產(chǎn)生的污染或反應(yīng)及滿足法規(guī)的前提下），各氣架內(nèi)Purge入口需設(shè)置逆止閥。

Gas Rack依據(jù)氣體壓力、鋼瓶重量（液態(tài)）及氣體性質(zhì)自動(dòng)切換鋼瓶，其采用兩段式，第一段警告，第二段自動(dòng)切換，設(shè)定值依據(jù)實(shí)際情況而定。

控制盤(pán)面顯示：顯示訊號(hào)包含氣體供應(yīng)狀況、氣瓶重量、壓力顯示、all alarm及running