Gas Cabinet采用可程序化邏輯控制(PLC) 撘配Touch Monitor操作，能自動切換及手動控制及一鍵強制供氣,并能與氣體監(jiān)控系統(tǒng)(Gas Monitoring System)兼容，藉由氣體監(jiān)控系統(tǒng)遠距離關閉(Remote Shutdown)方式控制Gas Cabinet供氣。

Gas Cabinet操作界面需用10”4以上 TFT Touch Monitor(并有流程、閥位顯示等)。各控制參數可依層級別設定修改。

所有自燃性氣瓶柜需裝設UV/IR，且UV/IR需能與Gas Cabinet之氣動閥做連鎖interlock，以作為緊急關斷之用。(VDB亦需有考慮應急措施)

Gas Cabinet采雙瓶式配置，兩瓶皆為制程氣體鋼瓶，一瓶供應，一瓶備用，Purge所需N2可考慮各氣體間共用鋼瓶供應（在考慮氣體倒流產生的污染或反應及滿足法規(guī)的前提下），各氣柜內Purge入口需設置逆止閥。 (廠家需設計氣瓶柜具有自動換鋼之功能)。Gas Cabinet 需設計高壓保壓測漏（HPLT）并設置Test Port?？紤]與要求同Purge N2。