5.1 管線規(guī)范

5.1.1 一般說(shuō)明

承包商須提供本氣體供應(yīng)工程完整管線。

管路焊接人員須持有有效期內(nèi)的焊工證；

電器施工人員須持有有效期內(nèi)的電工證；

現(xiàn)場(chǎng)施工須配備專(zhuān)業(yè)安全監(jiān)管人員，監(jiān)管者不得參與實(shí)際施工；

5.1.2 供應(yīng)范圍至少須包括但不僅限于下列項(xiàng)目：

1. 所有管線及閥類(lèi)

2. 所有的管配件、管支撐以及必須之附件

3. 管線標(biāo)示、開(kāi)關(guān)掛牌

5.1.3 設(shè)計(jì)要求

1)管線系統(tǒng)設(shè)計(jì)須考慮人員操作的要求以及安全的規(guī)定；

2)腐蝕性氣體使用SS316L V+V材質(zhì)；

3)氣體房及FAB內(nèi)氣柜及VMB的GN2 Utility（氣動(dòng)閥、抽真空）氣源由業(yè)主指定的N2 預(yù)留點(diǎn)銜接至各區(qū)域的VS（由承攬商提供），VS內(nèi)須配置手動(dòng)閥、調(diào)壓閥及壓力表頭,再由VS銜接至各個(gè)需求設(shè)備；

4)雙套管須按照標(biāo)準(zhǔn)的雙套管工法施做，外管需配置信號(hào)線壓力表及兩個(gè)手動(dòng)隔膜閥。雙套管中間抽至負(fù)壓狀態(tài)，并將實(shí)時(shí)壓力信號(hào)納入GMS SCADA監(jiān)控。如負(fù)壓壓力超過(guò)設(shè)定值，需可在GMS SCADA上顯示報(bào)警；

5)外套管滑套要求使用成品滑套，不得直接切割；

6)所有設(shè)備的Utility須帶獨(dú)立的隔離手動(dòng)閥；

7)SIH4和H2 BSGS尾氣排放管末端須配置氮?dú)夤苈凡惭b流量計(jì)，持續(xù)沖吹管路；

8)在施行安裝前與施工期間，所有管線及配件必須保持干凈，且應(yīng)防止任何外來(lái)物的污染。安裝配管所需之管架，固定管架所需之基礎(chǔ)螺栓與螺帽，均由承包商提供并裝配；

9)承攬商須負(fù)責(zé)所有氣化及GMS系統(tǒng)公用管架的安裝；支架須有預(yù)留孔洞，無(wú)需現(xiàn)場(chǎng)另行開(kāi)孔；支架兩端須有白色封蓋；

10)所有氣體管路均須布置在化學(xué)管路上方；

11)所有涉及既有系統(tǒng)改造及tie in，均不得影響在線氣體供應(yīng)系統(tǒng)的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。如未經(jīng)業(yè)主同意擅自操作，造成后果由承攬商負(fù)全責(zé)；

12)所有穿墻段管路須對(duì)管路有外套管保護(hù)，外套管材質(zhì)與雙套管外管一致； 

13)所有穿墻及穿天花板管路，兩側(cè)都需防火封堵。

14)管外徑（雙套管視外管）大于5/8” 的管道彎頭應(yīng)采用成品彎頭；管外徑小于等于5/8” 的彎頭可在現(xiàn)場(chǎng)使用專(zhuān)用彎管器煨制，管道彎頭彎曲半徑不小于管外徑的3 倍。

5.2 配管加工

5.2.1 總則

1. 配管加工場(chǎng)必須分為潔凈作業(yè)場(chǎng)及一般作業(yè)場(chǎng)，而其材料放置場(chǎng)等也應(yīng)以同樣方式區(qū)別。

2.為了保持配管加工場(chǎng)環(huán)境的清潔，承包商須指定負(fù)責(zé)人員管理場(chǎng)內(nèi)的整理、收拾、清掃及火源。

3.配管作業(yè)時(shí)，如遇需要有特殊資格人員的工程，必須讓有資格者執(zhí)行。

4.配管材料須按照其品質(zhì)區(qū)分，出庫(kù)時(shí)須由負(fù)責(zé)人取出最低需要材料量。

5. 配管材料的包裝只可于使用之前開(kāi)封。

6. 配管材料即使有包裝時(shí)也不可直接放置于地面。

7. 需要于現(xiàn)場(chǎng)臨時(shí)置放配管材料時(shí)須事先取得業(yè)主的同意，明確記上保管期間、保管負(fù)責(zé)人姓名及其聯(lián)絡(luò)方式。

8  配管材料中與氣體接觸部分的蓋子及其它保護(hù)裝置，在潔凈室內(nèi)也不得擅自取開(kāi)。

9. 配管材料與氣體接觸部分等，不可以污穢的手套或手直接觸摸。

10.配管材料與氣體接觸部分不可用潔凈的手套觸摸。若于不得以的情況下接觸，須以潔凈的IPA洗凈。

11.配管施工時(shí)，使用火源前須取得業(yè)主的同意。工程現(xiàn)場(chǎng)須常設(shè)滅火設(shè)備。

12.現(xiàn)場(chǎng)施工時(shí)應(yīng)盡可能采用預(yù)制，以減少現(xiàn)場(chǎng)作業(yè)。

13.雙套管之施工法須采雙套管Elbow及Tee，即外套管之焊道，須等內(nèi)管全線完工，通過(guò)保壓及氦氣測(cè)漏后，方可進(jìn)行焊接；雙套管之密封方式須采用抽真空法，若發(fā)生泄漏時(shí)，真空遭到破壞，此信息須可由真空表傳至氣體控制室以警示操作人員。

5.2.2 切割

1. 切割應(yīng)于潔凈棚內(nèi)執(zhí)行．

2. 切割前應(yīng)確認(rèn)配管表面無(wú)有害痕跡、破損。

3. 配管切割時(shí)須使用不銹鋼專(zhuān)用切割器緩慢進(jìn)行切割，管徑大于25A時(shí)，須保持切面直度(90°±0.5)。

4. 切割時(shí)應(yīng)橫放水平固定，以防止切屑進(jìn)入管內(nèi)。

5. 配管切割后須以Air Gun用潔凈的氣體清除，切割面應(yīng)位于下流方向。

6. 切割后如管上附有切屑或其它雜質(zhì)，須用無(wú)塵布料擦凈。

7. 切割后應(yīng)用專(zhuān)用的切面加工器處理切面。

8. 進(jìn)行切面加工時(shí)，為防止切屑進(jìn)入管內(nèi)，應(yīng)置加工面于下游，從上游沖放潔凈的氣體，加工后，使切面朝下，從上方敲打幾次，以去除切屑雜質(zhì)。

9. 切面加工終了后，須確認(rèn)切面處理是否良好。若檢查合格，應(yīng)用高純度工業(yè)用氮?dú)馇宄涔芡獗怼?/p>

10.如確認(rèn)配管內(nèi)外無(wú)雜質(zhì)或異常現(xiàn)象，應(yīng)于兩端加蓋。

11.如配管不能橫于水平切割，下方管便不可使用。

5.2.3 焊接

1. 焊接工作員必須具備相關(guān)之執(zhí)照。

2. 自動(dòng)焊接的場(chǎng)合，必須每日對(duì)各焊接機(jī)進(jìn)行管理。電源關(guān)掉時(shí)也應(yīng)與基準(zhǔn)樣品比較，以確認(rèn)品質(zhì)。

3. 自動(dòng)焊接的場(chǎng)合，應(yīng)盡量在臨設(shè)的潔凈空間實(shí)行，原則上從鋼管上游至下游進(jìn)行。

4. 于現(xiàn)場(chǎng)施工時(shí)，須在簡(jiǎn)易的潔凈亭或密封環(huán)境內(nèi)執(zhí)行，以減少外部雜質(zhì)的進(jìn)入。

5. 焊接作業(yè)時(shí)，必須常設(shè)滅火設(shè)備，并須先取得甲方的同意才可使用火源。

6. 所有用電電氣設(shè)備須經(jīng)業(yè)主認(rèn)可。

7. 焊接時(shí)，管內(nèi)保護(hù)氣須使用高純度氬氣，焊接氬氣由承包商提供。

8. 管內(nèi)吹凈氣體即使于配管無(wú)焊點(diǎn)使用時(shí)，也必須以氮?dú)獠粩嗔魍?。特別是夜間時(shí)，為了防止管內(nèi)雜質(zhì)侵入，必須保持正壓。

9. 管線焊接完成后仍須以吹凈氣體清凈管線內(nèi)側(cè)，并以氮?dú)獬謮菏古c外界隔離。

5.2.4 管線安裝

一般安裝要求:地面上管線應(yīng)確實(shí)按設(shè)計(jì)圖面安裝，管線是否水平或垂直，需使用水平尺、水平儀及鉛垂測(cè)定，必要時(shí)得使用經(jīng)緯儀測(cè)定，以減小誤差。